歴代受賞者略歴

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グラント・ウイルソン 博士

2013年(第29回)日本国際賞受賞者

授賞対象分野
物質、材料、生産
授賞業績
半導体製造に革新的なプロセスをもたらした化学増幅レジスト高分子材料の開発
記念講演
リソグラフィーのための化学
国籍: 米国
生年月日 1939年3月30日
学歴:
1962年 カリフォルニア大学バークレー校卒業(化学)
1969年 カリフォルニア州立大学サンディエゴ校修士(有機化学)
1973年 カリフォルニア大学バークレー校 博士(有機化学)
職歴:
1973-1974年 カリフォルニア州立大学ロングビーチ校 准教授
1974-1978年 カリフォルニア大学サンディエゴ校 准教授
1978-1993年 IBMサンノゼ研究センター IBMフェロー兼ポリマー科学技術開発責任者
1993年-現在 テキサス大学オースチン校 教授(化学&化学工学)
主要研究論文
  1. Frechet, J. M. J. Ito, H. Willson, C. G. Sensitive Deep UV Resist Incorporating Chemical Amplification. Proceedings Microcircuit Engineering 1982, Grenoble, 260.
  2. Willson, C. Grant; Ito, Hiroshi; Frechet, J. M. J. “L'amplification chimique appliquee au developpement de polymeres utilisables comme resines de lithographie,” Colloque Internationale sur la Microlithographie: Microcircuit Engineering 82 261 (1982)
  3. Willson, C. Grant; Ito, Hiroshi; Frechet, Jean M. J.; Houlihan, Frank. “Chemical Amplification in the Design of Polymers for Resist Applications,” International Union of Pure and Applied Chemistry 28 448 (1982)
  4. Willson, Grant C.; Ito, Hiroshi; Frechet, Jean M. J.; Tessier, Theodore G.; Houlihan, Francis M. “Approaches to the Design of Radiation-Sensitive Polymeric Imaging Systems with Improved Sensitivity and Resolution,” J.Elecrochem.Soc. 133(1) 181-187 (1986)
  5. MacDonald, Scott A.; Willson, C. Grant; Frechet, Jean M. J. “Chemical Amplification in High-Resolution Imaging Systems,” Accounts of Chemical Research 27(6) 151-158 (1994)
主な受賞等:
  • Fellow, IBM (1985)
  • Alexander von Humboldt Senior Scientist Award, FRG (1988)
  • ACS Award in the Chemistry of Materials (1991)
  • Elected member National Academy of Engineering (1992)
  • Malcolm E. Pruitt Award, Council for Chemical Research (1997)
  • National Academy of Sciences Award for Chemistry in Service to Society (1999)
  • Semiconductor Research Corporation Aristotle Award (1999)
  • Inaugural Fellow, ACS Division of Polymeric Materials:Science and Engineering (2000)
  • ACS Award in Applied Polymer Science (2004)
  • ACS Heroes of Chemistry Award (2005)
  • Fellow, International Society for Optics and Photonics (SPIE) (2007)
  • SEMI North America Award (2007)
  • National Medal of Technology and Innovation, USA (2007)
  • Gordon E. Moore Medal of the Electrochemical Society (2009)
  • Inaugural Fellow, American Chemical Society (2009)
  • Fellow, Materials Research Society (2012)

( 受賞当時 )

Japan Prize歴代受賞者による社会貢献

受賞者

Japan Prize 30年の歩み

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