2013 Japan Prize受賞者

• 授賞対象分野：
  物質、材料、生産
• 授賞業績：
  半導体製造に革新的なプロセスをもたらした化学増幅レジスト高分子材料の開発
• 記念講演：
  リソグラフィーのための化学

主な受賞等

1985	Fellow, IBM
1988	Alexander von Humboldt Senior Scientist Award, FRG
1991	ACS Award in the Chemistry of Materials
1992	Elected member National Academy of Engineering
1997	Malcolm E. Pruitt Award, Council for Chemical Research
1999	National Academy of Sciences Award for Chemistry in Service to Society
1999	Semiconductor Research Corporation Aristotle Award
2000	Inaugural Fellow, ACS Division of Polymeric Materials:Science and Engineering
2004	ACS Award in Applied Polymer Science
2005	ACS Heroes of Chemistry Award
2007	Fellow, International Society for Optics and Photonics (SPIE)
2007	SEMI North America Award
2007	National Medal of Technology and Innovation, USA
2009	Gordon E. Moore Medal of the Electrochemical Society
2009	Inaugural Fellow, American Chemical Society
2012	Fellow, Materials Research Society

学歴

1962年	カリフォルニア大学バークレー校卒業（化学）
1969年	カリフォルニア州立大学サンディエゴ校修士（有機化学）
1973年	カリフォルニア大学バークレー校　博士（有機化学）

職歴

1973-1974年	カリフォルニア州立大学ロングビーチ校　准教授
1974-1978年	カリフォルニア大学サンディエゴ校　准教授
1978-1993年	IBMサンノゼ研究センター　IBMフェロー兼ポリマー科学技術開発責任者
1993年-現在	テキサス大学オースチン校　教授（化学＆化学工学）

主要研究論文

• Frechet, J. M. J. Ito, H. Willson, C. G. Sensitive Deep UV Resist Incorporating Chemical Amplification. Proceedings Microcircuit Engineering 1982, Grenoble, 260.
• Willson, C. Grant; Ito, Hiroshi; Frechet, J. M. J. “L'amplification chimique appliquee au developpement de polymeres utilisables comme resines de lithographie,” Colloque Internationale sur la Microlithographie: Microcircuit Engineering 82 261 (1982)
• Willson, C. Grant; Ito, Hiroshi; Frechet, Jean M. J.; Houlihan, Frank. “Chemical Amplification in the Design of Polymers for Resist Applications,” International Union of Pure and Applied Chemistry 28 448 (1982)
• Willson, Grant C.; Ito, Hiroshi; Frechet, Jean M. J.; Tessier, Theodore G.; Houlihan, Francis M. “Approaches to the Design of Radiation-Sensitive Polymeric Imaging Systems with Improved Sensitivity and Resolution,” J.Elecrochem.Soc. 133(1) 181-187 (1986)
• MacDonald, Scott A.; Willson, C. Grant; Frechet, Jean M. J. “Chemical Amplification in High-Resolution Imaging Systems,” Accounts of Chemical Research 27(6) 151-158 (1994)